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来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/15 07:17:06
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改良西门子法制备多晶硅还原炉内实际条件
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我最早接触的是国家院士 梁骏吾的文章《 电子级多晶硅生产工艺》 ,这个资料你可以了解了解.我们现在实际操作的的是温度1050~1080.压强0.6MPa.进料比理论计算是6~7:1,实际操作是8:1.大多数是内部资料.