改良西门子法制备多晶硅还原炉内实际条件还原炉内实际的操作条件(温度,压强,初始进料比)是什么?数据来自什么文章(最好把文章名字,作者,文章出处等写出来),在线等,谢谢了.
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/15 07:17:06
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改良西门子法制备多晶硅还原炉内实际条件
还原炉内实际的操作条件(温度,压强,初始进料比)是什么?数据来自什么文章(最好把文章名字,作者,文章出处等写出来),在线等,谢谢了.
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我最早接触的是国家院士 梁骏吾的文章《 电子级多晶硅生产工艺》 ,这个资料你可以了解了解.我们现在实际操作的的是温度1050~1080.压强0.6MPa.进料比理论计算是6~7:1,实际操作是8:1.大多数是内部资料.
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