干氧氧化和湿氧氧化的特点

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 04:12:50
干氧氧化和湿氧氧化的特点

干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧氧化和湿氧氧化的特点

干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧的氧化膜结构致密、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好、但生长速率慢.
湿氧的氧化膜结构疏松,表面有缺陷,含水量多,对杂质的掩蔽能力差,但生长速率快.
一般湿氧很少单独使用,因为它对硅表面影响较大,湿氧和光刻胶的接触也不好
一般稍微对厚度要求的氧化层两个表面采用干氧,也就是干氧-湿氧-干氧(简称干湿干)的过程