SIO2 镀膜腔体氩气对穿透的影响是怎么样的?可以帮我解答氧气和氩气配比对SIO2化合物成分的影响吗？渡SIO2后玻璃的穿透会变的更好，还是没有什么变化，影响玻璃穿透的主要因素。

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/05/07 13:00:51
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SIO2 镀膜腔体氩气对穿透的影响是怎么样的?
可以帮我解答氧气和氩气配比对SIO2化合物成分的影响吗？渡SIO2后玻璃的穿透会变的更好，还是没有什么变化，影响玻璃穿透的主要因素。

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SiO2膜可作为减反射膜层.由Si靶反应溅射获得.你问的是透射率吧?
这是一个综合的问题.基本原则是Ar气决定腔体内气压,气体压力和溅射功率影响溅射速率的大小,Ar气和氧气的配比影响膜层中的SiOx化合物成分,从而影响SiOx膜层的透射率.所以Ar气流量的多少要和溅射功率、氧气流量配合使用.最佳工艺参数和相应的溅射设备结构和尺寸有关,一般最佳Ar气量要通过实验调节获得.
镀膜企业通常有一套基本工艺的,有适合功率和Ar气的参数,所以,通过固定Ar气流量,而调节氧气流量来获得比较理想的透射率也是一种常用的有效的方法（适用于Si靶反应溅射,也适用于SiO2靶加少量氧气直接溅射镀制SiO2膜）.
充足氧气的SiO2透射率较高,但氧气过量会导致打弧甚至灭弧,也就是靶材中毒,无法稳定溅射.
镀SiO2后透射率会更好一点,镀膜玻璃的透射率是玻璃和各层膜的透射率的综合,有公式计算的.

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