水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/02 16:24:17
水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk

水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk
水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .
@jadezyk

水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk
冷阱,靶材,腔体的外围,回转发热结构的冷却,真空泵